プローブステーション・マイクロポジショナー

製品情報プローブステーション・マイクロポジショナー

プローブステーション・マイクロポジショナーとは

プローブステーション・マイクロポジショナーは、半導体、LCD、精密電子部品において通電の検査や寸法測定を行う為に用いられる検査器です。
近年ますます小型化するSMTやMEMSデバイス、半導体回路形成において、実製品の寸法や電気特性の測定が容易に可能となります。測定対象に合わせて複数の構成の受け入れを可能としたプローブステーション、それに取付けて個々の対象への任意の位置決めを行うマイクロポジショナーとプローブピンの組み合わせで、電流、電圧、寸法等、様々な測定が可能です。

プローブステーション・マイクロポジショナーの詳細

計測対象に応じて適正なステーション+ポジショナーの組み合わせをすることにより、高精度で使い勝手の良い構成提案を可能としています。業界最高精度の1μm以下の精度を実現しつつ、低コストも実現しています。
全ての製品は個別販売を行っておりますので、既存のステーションにポジショナーを取り付けたり、ステージ部のみを変更したりといった部品提供もさせて頂けます。

プローブステーション

EB-シリーズ

EB-シリーズ
  1. 同軸駆動チャックステージ
  2. チャック上下4㎜でのアジャスト可能
  3. チャックθ:±15°でアジャスト可能
  4. ステンレスチャック(オプションにて銅メッキ対応)
  5. 電子顕微鏡 X-Y stage

BD-シリーズ

BD-シリーズ
  1. 扱い易い大型チャックダイヤル
  2. チャック θ, ±15°調整可能
  3. プラテン上下機構,
    ・coarse adj. - 6mm adjustable
    ・fine adj. - 25mm adjustable
  4. ステンレスチャック(オプションにて銅メッキ対応)
  5. 電子顕微鏡 X-Y stage

※EB、BDシリーズは標準品となります。専用機能を持たせたカスタム品での対応も可能です。
※上記はプローブステーション、マイクロポジショナー、電子顕微鏡のセットイメージです。
個別製品のラインアップ・価格等については、お問い合わせください。

マイクロポジショナー

EB-005 EB-050 EB-700
EB-005 EB-050 EB-700
完全リニア駆動
磁石機構をもとにした簡単で確実なON/OFFスイッチ
200TPI
駆動精度:0.35μm
80TPI
駆動精度:0.8μm
40TPI
駆動精度:1.7μm
バックラッシュ無駆動 省スペース仕様、インラインX・Yダイヤル、ワンタッチセッティング 省スペース仕様、ワンタッチセッティング、低コスト仕様
最適なご用途;
  • DC から40~120GHz(RF) プローブ
最適なご用途;
  • I/O pad probing
  • Circuit probing
  • RF probing
最適なご用途;
  • I/O Pad probing

※上記モデルは標準品となります。カスタム・専用品のご提案も可能です。

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