気体流量センサー

製品情報気体流量センサー

気体流量センサー

気体流量センサー

ニッケルヒーターを窒化シリコン膜に搭載し、気体流量を高感度・高速な反応にて計測します。車両用途で培われた技術で実績も多くあります。

用途・特徴

  • ・高信頼性、長期仕様での安定性
  • ・高い反応速度
  • ・複数の流量方向に対応可能
  • ・多くのガス、揮発性物質にも対応
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